عنوان فارسی مقاله: |
تریبولوژی میکرو/نانو مقیاس مواد MEMS، روان کننده ها و وسایل |
| عنوان انگلیسی مقاله: |
MICRO/NANOSCALE TRIBOLOGY OF MEMS MATERIALS, LUBRICANTS AND DEVICES |
خلاصه
هرچند فیلد یا رشته MEMS در طول دهه گذشته به طور قابل ملاحظه ای توسعه یافته است، اما مقیاس عملیات و نسبت بزرگ سطح به حجم وسایل منجر به نیروهای بازدارنده بسیار بالایی نظیر اصطکاک و چسبندگی می گردد که عملکرد و قابلیت اطمینان وسایل را به طور جدی تحلیل می دهند. اینها پدیده های تریبولوژی هستند که در مقیاس های میکرو تا نانو باید مطالعه و شناخته شوند. به علاوه، مواد MEMS بایستی خصوصیات تریبولوژیکی میکرومقیاس خوبی به معرض نمایش بگذارند. مواد جایگزین برای سیلیکون که تحت شرایط عملیاتی نامساعد، خصوصیات تریبولوژیکی برتری به معرض نمایش می گذارند، باید شناسایی شوند. در این راستا توسعه روان کننده ها و شناسایی روشهای روانکاری مناسب برای MEMS نیز لازم و ضروری می باشد. در اینجا خلاصه ای از مطالعات میکرو/ نانوتریبولوژیکی مواد و روان کننده های مورد استفاده در وسایل MEMS مطرح شده است. به ویژه، سیلیکون، پلی سیلیکون، و مواد مبتنی بر SiC مطالعه شده اند. فیلم ها یا لایه های پرفلوروپلی اتر و تک لایه های خودمونتاژشده برای روانکاری MEMS مورد پژوهش قرار گرفته اند. بالاخره، برای کمک به درک و شناخت پدیده های تریبولوژیکی مشاهده شده در MEMS، تست سطح مولفه (جزء سازنده) میکروموتورها نیز انجام شده است.
