| عنوان فارسی مقاله: |
بررسی ویژگی های دینامیکی و شبیه سازی میکرومیرورهای پیچشیMEMS |
| عنوان انگلیسی مقاله: |
A study of dynamic characteristics and simulation of MEMS torsional micromirrors |
نمونه متن ترجمه
چکیده
در این مقاله تاثیر نیروی وان در والز (van der Waals (vdW)) بر پایداری سیستم محرک NEMS)) (سیستم‌های نانو الکترو-مکانیکی الکترواستاتیکی پیچشی) مورد تجزیه و تحلیل قرار گرفت. وابستگی نوسان زاویه بحرانی و ولتاژ روی اندازه ی سازه‌ها با درنظر گرفتن تاثیرات vdW بررسی شد. مرتب سازی رویداد بدون نیروی گشتاوری الکترواستاتیک مورد مطالعه قرار گرفت، که یک شکاف بحرانی کششی حاصل شد. یک معادله بدون بعد حرکتی ارائه شد و یک تجزیه و تحلیل کیفی از آن نشان دادکه نقاط متعادل سیستم مستقل متناظر شامل نقطه مرکز، نقطه فوکوس پایدار، و نقطه زینی شکل بی ثبات است. نقاط انشعاب هاف (Hopf ) و چنگال نیز در سیستم وجود دارد. این فازها اتصال نقاط موازنه را به تصویر می‌کشد و مدارهای تناوبی، هیتروکلینیک و همچنین هوموکلینیک را نشان می‌دهد.
